合肥市纳诺半导体有限公司成立于 2021 年 7 月，致力于解决芯片国产化的“卡脖子”问题，研究半导体 7nm 晶圆生产检测设备国产化。公司主要研发 12 寸晶圆 7nm 缺陷光学检测设备系统，技术达到世界先进水平。

目前合肥、常州、上海三个城市共同组建研发、生产和销售团队，位于常州的全资子公司，江苏三米科思半导体设备有限公司（Semix）占地总面积约 3000 平方米，建设了用于研发和生产的百级超净净房，预计三年内年产值可达 3 亿元人民币。

按照产品研发的进度发展，公司于2022年7月预计完成Alpha样机的开发，并计划于 2025 年进入批量生产。